SHIMIZU Sumito | Main Research Laboratory, Nikon Corporation

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概要

• 同名の論文著者
• Main Research Laboratory, Nikon Corporationの論文著者

Main Research Laboratory, Nikon Corporation | 論文

• Electroplated Reflection Masks for Soft X-Ray Projection Lithography
• Reduction Imaging at 4.5 nm with Schwarzschild Optics
• Fabrication of 0.1μm Line-and-Space Patterns using Soft X-Ray Reduction Lithography

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