杉山 正和 | BEANS研
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概要
BEANS研 | 論文
- 436 薄膜材料を対象とした二軸引張試験技術の開発(T09-3 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(3) マイクロ・ナノ実験力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係
- SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ
- T0302-1-3 環境制御型引張試験システムを用いたAl合金薄膜の機械的特性評価(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
- MNM-1B-7 二物質同時接触型耐摩耗プローブのトライボロジー特性評価(セッション 1B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー1)