Payerne Renaud | Laboratoire des Technologies de la Microélectronique CNRS, c/o CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9, France

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概要

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関連著者

• Schiavone Patrick

  Laboratoire des Technologies de la Microélectronique CNRS, c/o CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9, France

• Payerne Renaud

  Laboratoire des Technologies de la Microélectronique CNRS, c/o CEA-Grenoble, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9, France

著作論文

• Rigorous Simulation of Line-Defects in Extreme UV Masks

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