宮路 匡 | 名古屋工業大学 大学院 情報工学専攻
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概要
名古屋工業大学 大学院 情報工学専攻 | 論文
- 圧電素子を用いたひずみ量フィードバックによる高精度位置決め制御
- ひずみ量フィードバックを併用したテーブル駆動システムの高精度位置決め制御
- G1001-6-3 圧電素子を用いた機台振動の検出と制振制御((6)運動と振動の制御)
- ひずみ量フィードバックと外乱オブザーバを併用したテーブル駆動システムの高精度位置決め制御
- ひずみ量フィードバックと外乱オブザーバを併用したテーブル駆動システムの高精度位置決め制御