Ikawa Eiji | ULSI Device Development Labs., NEC Corporation

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概要

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• ULSI Device Development Labs., NEC Corporationの論文著者

ULSI Device Development Labs., NEC Corporation | 論文

• 0.15μm CMOS Devices with Reduced Junction Capacitance
• Process Integration of O_3-TEOS CVD SiO_2 for a Cover Film on Ferroelectric Capacitors

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