池田 三章 | 日本板硝子(株)

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概要

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• 日本板硝子(株)の論文著者

日本板硝子(株) | 論文

• ゾルの調製条件がマイクロパターニング用シリカゲル膜の硬化特性に及ぼす影響
• 高温高湿環境下におけるゾル・ゲルSiO_2薄膜の物理的性質及び構造の変化
• ソーダ万灰ガラス基板上に形成したゾルーゲルTiO_2-SiO_2薄膜のアルカリパッシベイションメカニズム
• ゾル-ゲル薄膜コートガラス基板の劣化に及ぼす湿度及び温度の影響
• 有機高分子を含むゲル膜の生成と微細加工プロセスへの応用

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