高岡 義寛 | 京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター

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概要

• 松尾 二郎の詳細を見る
• 同名の論文著者
• 京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センターの論文著者

京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター | 論文

• クラスタイオンビームによる平坦化加工技術
• マルチビーム薄膜形成装置の開発
• デカボランイオン注入による損傷の形成とその増速拡散への影響
• イオン衝突によるシリコン表面欠陥の高温STM観察
• クラスターイオン注入とデバイスプロセス

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