Kure Tokuo | Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd., Kokubunji, Tokyo 185, Japan

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概要

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• 同名の論文著者
• Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd., Kokubunji, Tokyo 185, Japanの論文著者

関連著者

• Kure Tokuo

  Central Research Laboratory Hitachi Ltd

• ONO Tetsuo

  Kasado Works, Hitachi, Ltd

• MIZUTANI Tatsumi

  Kasado Works, Hitachi, Ltd.

• Goto Yasushi

  Central Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Kure Tokuo

  Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd., Kokubunji, Tokyo 185, Japan

• Ono Tetsuo

  Kasado Works, Hitachi, Ltd., Kudamatsu, Yamaguchi 744, Japan

• Mizutani Tatsumi

  Kasado Works, Hitachi, Ltd., Kudamatsu, Yamaguchi 744, Japan

著作論文

• Highly Anisotropic Etching of Polysilicon by Time-Modulation Bias

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