ITO Masataka | ELTRAN project, Canon Inc.

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概要

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ELTRAN project, Canon Inc. | 論文

• Defect Engineering in Epitaxial Layers over Porous Silicon for ELTRAN^【○!R】 SOI Wafers
• Extremely Low Si Etching (
• Current Progress in Epitaxial Layer Transfer (ELTRAN^[○!R]) (Special Issue on SOI Devices and Their Process Technologies)
• Water Jet Splitting of Thin Porous Si for ELTRAN^【○!R】

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