SASAKI Minoru | Tohoku Univ., Dept. of Nanomechanics

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概要

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• 同名の論文著者
• Tohoku Univ., Dept. of Nanomechanicsの論文著者

Tohoku Univ., Dept. of Nanomechanics | 論文

• Compact Triangulation Sensor Array Constructed by Folded Wafer
• Electrostatically Driven XY-stage Based on SOI-MEMS

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