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村谷 圭市 | 金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター
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金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター | 論文
組成変調したTi-TiN多層薄膜における高強度化機構
組成変調したTiN-Ti多層薄膜の構造と硬さおよび内部応力
組成傾斜構造とAr圧がZrN/Zr/ZrO_2とZrN/ZrO_2膜の硬さ及び付着力に与える影響
固体炭素源を用いた反応性スパッタリング法によるTiC膜の作製
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