SUBBAIAH Gunta | Bioanalytical Laboratory, Torrent Research Center
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概要
論文 | ランダム
- 3. 種々のプラズマ源の電子エネルギー分布関数の比較 (電子エネルギー分布関数とプラズマプロセス)
- 31a-D-2 RFバイアス光プローブ法による反応性プラズマ中の電子エネルギー分布関数測定
- 29p-YA-19 発光分光法による電子エネルギー分布の計測
- 29p-YA-7 酸化膜エッチングプラズマにおけるSi, CFx, Fの発光計測
- RFバイアス光プローブ法を用いた電子エネルギー分布関数の測定