Furuta Mamoru | Research Institute, Kochi University of Technology, Kami, Kochi 782-8502, Japan
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概要
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Research Institute, Kochi University of Technology, Kami, Kochi 782-8502, Japan | 論文
- Influence of Thermal Annealing on Microstructures of Zinc Oxide Films Deposited by RF Magnetron Sputtering
- Effect of Energetic Particle Bombardment on Microstructure of Zinc Oxide Films Deposited by RF Magnetron Sputtering
- カーボンナノチューブの合成と電界電子放出ランプ(FEL)への応用
- カーボンナノチューブ量産技術開発と電界電子放出素子への応用
- 基板バイアスにより制御されたZnO薄膜の結晶性とドライエッチングにより形成される側壁形状との相関