Kim Byung-Gook | Photomask Group, R&D Center, Samsung Electronics

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概要

• 同名の論文著者
• Photomask Group, R&D Center, Samsung Electronicsの論文著者

Photomask Group, R&D Center, Samsung Electronics | 論文

• Process Technology for Next Generation Photomask
• Characteristics of the Linewdth Variation due to Flare and Its Dependency on Optical Parameters

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