Shiga Nobuo | Electron Device Division, Sumitomo Electric Industries, Ltd. 1, Taya-cho, Sakae-ku, Yokohama 244-8588, Japan

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概要

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関連著者

• Nakajima Shigeru

  Electron Device Division Sumitomo Electric Industries Ltd.

• Shiga Nobuo

  Electron Device Division, Sumitomo Electric Industries, Ltd. 1, Taya-cho, Sakae-ku, Yokohama 244-8588, Japan

• Saito Yoshihiro

  Electron Device Division, Sumitomo Electric Industries, Ltd.

著作論文

• The Effect of Oxygen Plasma on Activation Efficiency of Implanted Silicon in Gallium Arsenide

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