中村 哲 | 名古屋工業技術試験所

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概要

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• 同名の論文著者
• 名古屋工業技術試験所の論文著者

関連著者

• 宮川 草児

  名古屋工業技術研究所

• 丹羽 博昭

  名古屋工業技術研究所

• 宮川 佳子

  名古屋工業技術研究所

• 中村 哲

  名古屋工業技術試験所

• 斎藤 和雄

  名古屋工業技術研究所

• 斉藤 和雄

  名古屋工業技術試験所

著作論文

• イオン注入によるTi化合物層形成過程とスパッタリング (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
• 窒素イオン注入によるTiN層の形成 (イオン照射)

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