Chen Jun | Faculty Of Engineering Tokyo Polytechnic University
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概要
Faculty Of Engineering Tokyo Polytechnic University | 論文
- ITOスパッタ膜堆積時の基板加熱の抑制
- ITO透明導電膜の低温成膜における水蒸気の効果(電子材料)
- ITOスパッタ膜堆積中の基板入射熱量とその抑制法(薄膜プロセス・材料,一般)
- スパッタ法によるフィルム基板上への透明導電膜の作製(電子部品・材料, 及び一般)
- ITO透明導電膜の低温成膜における水蒸気の効果