滝沢 國治 | 成蹊大学工学部物理情報工学科

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概要

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• 成蹊大学工学部物理情報工学科の論文著者

成蹊大学工学部物理情報工学科 | 論文

• TOF-SIMSによるUV照射したフォトレジスト表面の化学構造変化の評価
• ガラス基板上のタンパク質分布に関するTOF-SIMSイメージング評価法
• Cu-CMPプロセスにおける有機酸と反応したCu膜表面の状態解析
• TOF-SIMSによるバイオセンサ基板上のタンパク質分布の評価
• 最適入射角度の低速酸素イオンを用いたSIMS によるボロンのゲート酸化膜突き抜け現象の解析

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