田村 克 | (株) 日立製作所日立研究所

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概要

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関連著者

• 府山 盛明

  (株) 日立製作所日立研究所

• 鬼沢 賢一

  (株) 日立製作所日立研究所

• 阿部 良夫

  (株) 日立製作所日立研究所

• 田村 克

  (株) 日立製作所日立研究所

著作論文

• スパッタリング法によるSrTiO3膜の生成と電気特性

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