Numasawa Y | Microelectronics Research Laboratories Nec Corporation

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概要

• 同名の論文著者
• Microelectronics Research Laboratories Nec Corporationの論文著者

関連著者

• Numasawa Y

  Microelectronics Research Laboratories Nec Corporation

• TSUDA Hiroshi

  Microelectronics Research Laboratories, NEC Corporation

• NUMASAWA Youichirou

  Microelectronics Research Laboratories, NEC Corporation

• Tsuda Hiroshi

  Microelectronics Research Laboratories Nec Corporation

著作論文

• Titanium Nitride Deposition Using Chemical Beams of Metalorganic Precursors and ECR Plasma-Activated Nitrogen

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