AWAYA N. | NTT System Electronics Laboratories

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概要

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• 同名の論文著者
• NTT System Electronics Laboratoriesの論文著者

関連著者

• Kyuragi H.

  Ntt System Electronics Laboratories

• HIRATA A.

  NTT System Electronics Laboratories

• MACHIDA K.

  NTT System Electronics Laboratories

• AWAYA N.

  NTT System Electronics Laboratories

• MAEDA M.

  NTT System Electronics Laboratories

著作論文

• WSiN Diffusion Barrier Formed by ECR Plasma Nitridation for Copper Damascene Interconnection

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