田中 孝彦 | 静岡県静岡工業技術センター

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概要

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• 同名の論文著者
• 静岡県静岡工業技術センターの論文著者

関連著者

• 仲秋 勇

  静岡県静岡工業技術センタ

• 齋藤 順雄

  静岡大学電子工学研究所

• 田中 孝彦

  静岡県静岡工業技術センター

• 吉田 和敏

  (株) 小糸製作所

著作論文

• 導電率の温度係数が負となるa-SiC : H膜形成へのSiH4/CH4ガス流量比の影響

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