矢島 昭三 | 北大 応用電気研

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概要

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関連著者

• 矢島 昭三

  北大 応用電気研

著作論文

• R.F.リアクティブ・スパッタ法によるTa-Ti-O系混合誘電体薄膜
• 高周波リアクティブスパッタ法によるNi-Ta-Al-N系サ-メット薄膜抵抗について

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