HATA Takao | JEOL Ltd.

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概要

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• JEOL Ltd.の論文著者

関連著者

• SAITO Tetsuya

  National Research Institute for Metals

• Saito Tetsuya

  Department Of Biological And Chemical Engineering Faculty Of Engineering Gunma University:the Mushro

• Furuya Kazuo

  National Institute For Materials Science

• Yamada Isamu

  Jeol Datum Ltd.

• Saito Tetsuya

  National Institute For Materials Science

• HATA Takao

  JEOL Ltd.

著作論文

• In Situ Microlithography of Si and GaAs by a Focused Ion Beam in a 200keV TEM

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