古川 和由 | (株)東芝総合研究所

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概要

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関連著者

• 古川 和由

  (株)東芝

• 古川 和由

  (株)東芝総合研究所

• 新保 優

  (株)東芝総合研究所

著作論文

• 4 シリコンウェハの直接接合(先端接合技術と材料複合化への応用)
• 耐酸性ホウケイ酸亜鉛鉛系パッシベーションガラスの特性

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