スエタニ マサハル | Student Graduate School Of Tohoku University
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概要
関連著者
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ナンブ ケンイチ
Professor Institute Of Fluid Science Tohoku University
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スエタニ マサハル
Student, Graduate School of Tohoku University
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スエタニ マサハル
Student Graduate School Of Tohoku University
著作論文
- DSMC Analysis of Rarefied Flows of Chlorine in a Parallel-Plate RF Etcher for 300mm Wafer
- Virtual Plasma Reactor-Computer Simulated RF Etcher