小林 義和 | ディスコ

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概要

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ディスコ | 論文

• シリコン単結晶の酸素濃度均一性と融液の蒸発
• Czシリコン単結晶育成炉内における石英と黒鉛の反応 : 融液物性I
• ボロン添加シリコン融液の蒸発量
• 22aA5 ボロン添加シリコン融液の特性(バルク成長I)
• 224 SLS 法を用いた薄肉形状熱交換器の製作

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