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岡本 隆之 | 日立マクセル (株)
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関連著者
小川 倉一
大阪府立工業技術研究所
滝口 勝美
大阪府立工業技術研究所
吉竹 正明
大阪府立工業技術研究所
大岩 恒美
日立マクセル (株)
岡本 隆之
日立マクセル (株)
著作論文
反応性ニュートラルビームスパッタ法による酸化タンタル薄膜の作製 : N2ガス添加効果
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