胡 杭湘 | 三重大学大学院

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概要

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関連著者

• 胡 杭湘

  三重大学大学院

• 加藤 征三

  三重大学工学部 機械工学科

著作論文

• LP-CVDシリコンウェーハプロセスの表面反応と吸着粒子の挙動に関するMD解析 〔流体工学, 流体機械〕
• 材料プロセス装置におけるガス流動の知的シュミレータの研究開発 (平成9年度 〔三重大学地域共同研究センター〕共同研究成果報告) -- (共同研究成果報告)

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