斎藤 耕治 | 秋田高技研
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概要
秋田高技研 | 論文
- 3822 平面位置決めを実現するナノモーションステージ(S56 磁気ヘッド浮上・位置決め制御技術,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 3405 走査記録再生を行うNano-motion Stage(S70-1 情報機器コンピュータメカニクス(1),S70 情報機器コンピュータメカニクス)
- 高速高精度な位置決めを実現するナノモーションアクチュエータ
- ナノモーションアクチュエータに対するPID制御器の設計(機械力学,計測,自動制御)
- 弾性支持ばね機構の変位量に基づく力フィードバック制御に関する研究