宮田 正靖 | セイコーエプソン株式会社研究開発本部テクノロジープラットフォーム研究所材料技術開発室

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概要

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• セイコーエプソン株式会社研究開発本部テクノロジープラットフォーム研究所材料技術開発室の論文著者

関連著者

• 宮田 正靖

  セイコーエブソン研究開発本部

• ゴッダードiii ウィリアム

  カリフォルニア工科大学ベックマン研究所マテリアル・プロセスシミュレーションセンター

• ヴァン ドゥーイン

  カリフォルニア工科大学ベックマン研究所マテリアル・プロセスシミュレーションセンター

• タヒア ケリー

  カリフォルニア工科大学ベックマン研究所マテリアル・プロセスシミュレーションセンター

• 宮田 正靖

  セイコーエプソン株式会社研究開発本部テクノロジープラットフォーム研究所材料技術開発室

著作論文

• 水素によって誘起されるシリコン酸化膜中の欠陥生成(プロセスクリーン化と新プロセス技術)

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