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岡田 光正 | 岡山大学大学院
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西田 典秀
岡山県工業技術センター
細川 智生
岡山理科大学
西田 典秀
岡山県工技セ
川崎 仁士
岡山県工業技術センター
本田 和男
岡山大学工学部
岡田 光正
岡山大学大学院
著作論文
基板の変形量とX線応力測定法で求めたTiNx皮膜の残留応力の比較
イオンプレーティングで作製したTi-N皮膜の残留応力に及ぼす皮膜組成の影響
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