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岡本 英一 | 日本電気株式会社集積回路事業部
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日本電気株式会社集積回路事業部の論文著者
関連著者
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日本電気株式会社相模原事業所
佐藤 晃郎
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佐藤 恵彦
日本電気株式会社集積回路事業部
著作論文
高周波スパッタ法によるTa2O5陽極化成膜上へのSiO2薄膜付着
タンタル薄膜
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