Denpoh Kazuki | Central Research Laboratory Tokyo Electron Ltd.

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概要

• 同名の論文著者
• Central Research Laboratory Tokyo Electron Ltd.の論文著者

関連著者

• Nanbu Kenichi

  Institute Of Fluid Science Tohoku University

• Denpoh Kazuki

  Central Research Laboratory Tokyo Electron Ltd.

• Nanbu Kenichi

  Institute For Fluid Science Tohoku University

著作論文

• Self-Consistent Particle Simulation of Radio Frequency CF_4 Discharge : Effect of Gas Pressure

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