門 哲男 | 独立行政法人 産業技術総合研究所基礎素材研究部門

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概要

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関連著者

• 門 哲男

  独立行政法人 産業技術総合研究所基礎素材研究部門

著作論文

• 誘導結合型高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタリング法による金属オキシカーバイドの合成

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