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平田 洋 | Ntt Lsi研究所
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平田 洋
Ntt Lsi研究所
干川 圭吾
信州大学
干川 圭吾
Ntt Lsi研究所
平田 洋
NTT・通研
干川 圭吾
NTT・通研
著作論文
VMCZ法シリコン結晶育成における酸素混入機構
シリコンの単結晶成長における酸素の混入と融液内対流
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