SUZUKI Kiyoteru | Information Equipment System Engineering Dept., Koito Industries, Ltd.
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概要
関連著者
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鈴木 清輝
小糸工業(株)
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SUZUKI Kiyoteru
Information Equipment System Engineering Dept., Koito Industries, Ltd.
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小川 博文
機械技術研究所
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金子 新二
オリンパス光学工業
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金子 新二
オリンパス光学工業(株)
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金子 新二
オリンパス光学
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小川 博文
独立行政法人産業技術総合研究所
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Kaneko Shinji
Advanced Tech. Research Center Olympus Optical Co. Ltd.
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OGAWA Hirofumi
MEMS and Packaging Division, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)
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Suzuki Kiyoteru
Koito Industries Ltd.
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Ogawa Hirofumi
Tech. Information Dept. National Inst. Of Advanced Industrial Science And Tech.
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坂 真澄
東北大
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仲野 雄一
湘南工科大学工学部
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石川 雄一
マイクロマシンセンター
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鈴木 清輝
湘南工科大院
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仲野 雄一
湘南工大
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仲野 雄一
湘南工科大
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仲野 雄一
相模工業大学
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石川 雄一
マイクロマシンセ
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坂 真澄
東北大学大学院
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坂 真澄
東北大学大学院工学研究科
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Saka Masumi
Dept. Of Mechanical Engineering Tohoku Univ.
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Nakano Y
湘南工科大学工学部機械工学科
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KANEKO Shinji
MEMS Technology Division, Olympus Corporation
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MAEDA Ryutaro
MEMS and Packaging Division, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)
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Ogawa Hirofumi
Tech. Information Dept., National Inst. of Advanced Industrial Science and Tech.
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Maeda Ryutaro
Mems And Packaging Division National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology (aist)
著作論文
- 薄膜材料の引張試験 - 低延性薄膜材料の破断伸びに対する標点間距離の影響 -
- スパッタチタン薄膜の機械的特性 : 薄膜微細組織の透過電子顕微鏡観察
- 特集論文 Effect of Ar Gas Pressure on Mechanical Properties of Sputtered Ti Thin Films (特集:MEMS/NEMS材料特性および信頼性評価)
- OS6(P)-26(OS06W0224) Effect of Ar Gas Pressure on Growth, Structure, and Mechanical Properties of Sputtered Ti Thin Films