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鶴田 英芳 | 日本ガイシ(株)
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中筋 善淳
日本ガイシ
松井 實
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桝田 昌明
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山田 直仁
日本ガイシ(株)
鶴田 英芳
日本ガイシ(株)hpc事業部技術部
著作論文
半導体製造装置用セラミックヒータ
常圧焼結窒化ケイ素の多軸応力下の破壊挙動(第2報)
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