CHANG Mei | Applied Materials Inc.

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概要

• 同名の論文著者
• Applied Materials Inc.の論文著者

関連著者

• Okano Haruo

  Applied Materials Japan Inc.

• Ishikawa Yoshio

  Applied Materials Japan Inc.

• IIJIMA Yukio

  Applied Materials Japan Inc.

• YANG Chan-lon

  Applied Materials Inc.

• CHANG Mei

  Applied Materials Inc.

• Yang C‐l

  National Chiao‐tung Univ. Hsinchu Twn

著作論文

• Highly Selective SiO_2 Etch Employing Inductively Coupled Hydro-Fluorocarbon Plasma Chemistry for Self Aligned Contact Etch

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