Petersen John | Shipley Microelectronics Ltd. Technical Service Group

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概要

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• 同名の論文著者
• Shipley Microelectronics Ltd. Technical Service Groupの論文著者

関連著者

• Petersen John

  Shipley Microelectronics Ltd. Technical Service Group

著作論文

• Submicron Imaging at 248.3 NM : A Lithographic Performance Review of an Advances Negative Resist Designed for low "K_1" Processing : Resist Material and Process

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