OHARA Kazuhiro | Production Engineering Research Laboratory, Hitachi, Ltd.

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概要

• 同名の論文著者
• Production Engineering Research Laboratory, Hitachi, Ltd.の論文著者

関連著者

• Ohara K

  Research Institute Of Electrical Communication Tohoku University

• OTSUBO Toru

  Production Engineering Research Laboratory, Hitachi, Ltd.

• OHARA Kazuhiro

  Production Engineering Research Laboratory, Hitachi, Ltd.

• Otsubo Toru

  Production Engineering Research Laboratory Hitachi Ltd.

著作論文

• Ion Energy Distribution of 13.56 MHz rf Glow Discharges in a Planar System Cathode

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