持地 広造 | (株)日立製作所 中央研究所

スポンサーリンク

概要

• 同名の論文著者
• (株)日立製作所 中央研究所の論文著者

関連著者

• 持地 広造

  日立製作所中央研究所

• 持地 広造

  (株)日立製作所 中央研究所

著作論文

• 放射光ならびに多価イオンの照射による表面励起プロセス
• 多価イオンによる原子層エッチング
• 放射光を利用したSF_6分子および半導体表面の光化学反応に関する研究

スポンサーリンク