持地 広造 | 日立製作所中央研究所

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概要

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関連著者

• 持地 広造

  日立製作所中央研究所

• 持地 広造

  (株)日立製作所 中央研究所

著作論文

• ビーム誘起表面反応への期待
• STM-TOF:原子分解能を持つ元素分析
• 放射光ならびに多価イオンの照射による表面励起プロセス
• 多価イオンによる原子層エッチング
• 放射光を利用したSF_6分子および半導体表面の光化学反応に関する研究

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