堀内 毅 | 日立精工(株)

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概要

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関連著者

• 松井 敏

  日立精工(株)

• 堀内 毅

  日立精工(株)

著作論文

• 自転形単石ドレッシングに関する研究 : 四角柱形ダイヤモンドの場合
• 自転形単石ドレッシングに関する研究 : 寸法精度及び表面粗さに対する効果
• 光信号を利用した自動砥石バランサの開発
• 砥石寿命に関する研究 : ウエハ自転研削法に関する研究(第3報)
• シリコンウエハ研削面の真直度に関する研究 : ウエハ自転研削法に関する研究(第2報)

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