松井 敏 | 日立精工(株)
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概要
関連著者
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松井 敏
日立精工(株)
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堀内 毅
日立精工(株)
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鄭 潤教
慶應義塾大学大学院
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稲崎 一郎
慶應義塾大学
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稲崎 一郎
慶応義塾大学
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稲崎 一郎
(現)中部大学総合工学研究所:慶應義塾大学
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鄭 潤教
慶応義塾大学大学院
著作論文
- 自転形単石ドレッシングに関する研究 : 四角柱形ダイヤモンドの場合
- 自転形単石ドレッシングに関する研究 : 寸法精度及び表面粗さに対する効果
- 光信号を利用した自動砥石バランサの開発
- レジンボンドダイヤモンド砥石のドレッシングに関する研究
- ファインセラミックスのスピードストローク研削
- 砥石寿命に関する研究 : ウエハ自転研削法に関する研究(第3報)
- シリコンウエハ研削面の真直度に関する研究 : ウエハ自転研削法に関する研究(第2報)
- ファインセラミックスのクリープフィード研削
- シリコンウエハの研削加工に関する二, 三の実験結果について : ウエハ自転研削法に関する研究(第1報)
- ファインセラミックスの高能率研削加工に関する基礎研究