岡本 圭司 | トーヨーエイテック株式会社
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概要
トーヨーエイテック株式会社 | 論文
- 誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により作製したCu薄膜に及ぼす基板バイポーラ電圧の効果
- 誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により紙上へ作製した Cu 薄膜の基板バイポーラ電圧依存性
- 誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により紙上へ作製したCu薄膜の基板バイポーラ電圧依存性
- アセチレンプラズマを用いたアモルファス炭素膜の成膜過程の赤外分光解析 (第29回表面科学学術講演会特集号(2))
- アセチレンプラズマを用いたアモルファス炭素膜の成膜過程の赤外分光解析