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玉川 欣司 | 東北大
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三浦 英生
東北大
玉川 欣司
東北大
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科エネルギー安全科学国際研究センター
尾谷 宗之
東北大院
作谷 和彦
東北大院
著作論文
3955 Cuめっき薄膜配線の機械特性(S21-3 強度物性と信頼性,S21 ナノ・マイクロ構造体の強度物性と信頼性)
218 銅メッキ膜の機械的特性評価(材料力学 IV,2.学術講演)
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