山本 伸彦 | 東京エレクトロンat(株)sd開発技術部

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概要

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• 東京エレクトロンat(株)sd開発技術部の論文著者

関連著者

• 山本 伸彦

  東京エレクトロンat(株)sd開発技術部

著作論文

• 2.マイクロ波表面波プラズマを用いたシリコン酸化窒化(実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新〜平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ〜)

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