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五十嵐 信行 | Necシステムデバイス研究所主任研究員
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Necシステムデバイス研究所主任研究員 | 論文
Si酸窒化膜/Si(001)界面研究の最近の展開
22aWB-9 SiO_2/Si(001)界面構造の原子スケール直接観察
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