福山 俊一 | (株)富士通研究所材料技術研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)富士通研究所材料技術研究所の論文著者

関連著者

• 松浦 東

  (株)富士通研究所

• 松浦 東

  (株)富士通研究所材料技術研究所

• 福山 俊一

  (株)富士通研究所材料技術研究所

• 成澤 俊明

  (株)富士通研究所材料技術研究所

著作論文

• 超高速2GHzLSIを実現する ための0.1μmプロセス用絶 縁材料の開発に成功 -ナノメートルオーダーの空洞の形状 制御技術"Nanocavity"

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